根据国家现行法律规定，外商投资企业的设立实行政府逐项审批登记制度。投资总额大小和《外商投资产业指导目录》的项目分类是划分中央政府和地方政府审批外商投资企业权限的主要依据。

国家发展与改革委、商务部负责审批投资总额在3000万美元(含3000万美元)以上的生产性外商投资项目和需由国务院主管部门审批的其他项目。

那么，外商投资企业设立审批的具体程序如下：

(一)申请设立中外合资经营企业、中外合作经营企业的基本程序

1.项目建议书的申报审批。

2.可行性研究报告的申报审批。

3.合同、章程的申报审批及申领外商投资企业批准证书。

4.营业执照的申领。

外国投资者设立独资企业，可委托具有相应资格的咨询代理机构办理申请和报批等事项。独资企业的设立程序较为简单，只需填写《在中国设立外资企业申请表》、编制可行性研究报告、编写公司章程等有关文件，向审批部门(商务部或地方相应政府机构)申请报批。根据外资企业法的规定，审批部门应当在收到申请之日起90天内决定批准或不批准。经批准后，由审批部门颁发外商投资企业批准证书，凭批准证书办理相关登记注册手续。